成都超迈SURPASS系列精密光学镀膜机高精密光通讯产品镀制光学膜可加工定制

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●本设备在成都光学镀膜机产业链发达基础上，在-部件、控制系统和结构设计上吸收国际一-品技术-，开发出surpass系列产品。本设备适用于高精密光通讯产品镀制光学膜: 电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片、玻璃片及塑胶树脂件上镀制增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜，能够根据客户需求定制。
●形式：φ650-3500mm，箱式一体机，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，一体机系统。
●真空系统：-真空8x10-5pa，主泵为复合分子泵低温泵扩散泵可选。
●真空测量：配三路数字复合真空计，均采用安全防爆金属测量规。
●工件架系统：客户需求定制，转速3～30rpm变频可调，工件盘为球形和行星工件盘可选。
●烘烤系统：不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和pid控制模块，烘烤温度300℃，温控精度1℃，过冲不超过2℃。
●电子束蒸发源：e型电子束蒸发源系统e型1-2套，主体有屏蔽罩，配置独立高压控制柜。
●旋转蒸发源：电动转位和点动转位，配置无氧铜坩埚和石墨坩埚各一套。
●电阻蒸发源：2套电阻蒸发源。选配
●膜厚测试系统：配瑞士inficon石英膜厚在线测量系统， rs-232 和 usb兼容，匹配水冷膜厚探头。
●离子源辅助沉积系统：一套选配离子源或高压离子轰击系统。
●控制系统：成熟-的真空镀膜控制系统，工业级10英寸触摸屏工控机和西门子plc，能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程；支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统，采用声光报警。
●说明：根据用户要求，公司愿与客户联合研发，共享-，公司致力于工艺与设备-匹配。

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